干式螺杆真空泵的分类

　　目前各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响，一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要。干式螺杆真空泵由于其结构简单，重量轻，体积小，吸入特性好，压力效率高，广泛应用于船用燃油系统和液压系统。接下来，按照小编的步伐，共同了解干式螺杆真空泵的分类。

　　三叶圆裂片式：

　　三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,它只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是象双圆裂片式设计分为两份。三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用

　　双圆裂片式：

　　双圆裂片式设计和目前zui流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些zui早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,干式螺杆真空泵这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

　　外部压缩型螺杆式：

　　在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到zui小,同时使得气体通路zui短也zui简单。这样,气体在泵体内停留的时间也zui短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。

　　内部压缩型螺杆式：

　　除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

　　对于所有类型的真空泵，人们都希望能够将现有的真空泵的物理尺寸尽量减小。但是这一点与真空泵的抽气速率相矛盾。因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然还有一个影响真空泵抽气速率的因素，那就是转速。为了使小尺寸的真空泵与大尺寸的真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高其转速。